Die DIN EN ISO 14644-1 legt die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen fest.
Maßgebend ist dabei ausschließlich die Konzentration luftgetragener Partikel.
Für die Klassifizierung werden nur Partikelkollektive mit kumulativen Verteilungen herangezogen, deren Schwellenwerte (untere Grenzwerte) der Partikelgröße zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen.
Anmerkungen zur Tabelle:
- a) Alle Konzentrationen in der Tabelle sind kumulativ: Für ISO-Klasse 5 umfassen die bei 0,3 µm angegebenen 10.200 Partikel alle Partikel dieser Größe.
Größere Partikel sind darin ebenfalls enthalten.
- b) Diese Konzentrationen erfordern für die Klassifizierung große Luftprobenvolumina. Es darf ein sequenzielles Probenahmeverfahren angewendet werden, siehe Anhang D.
- c) In diesem Bereich der Tabelle sind wegen der sehr hohen Partikelkonzentration keine Konzentrationsgrenzwerte anwendbar.
- d) Bei geringen Partikelkonzentrationen ist eine Klassifizierung wegen der Grenzen von Probenahme und Statistik nicht sinnvoll.
- e) Bei geringen Konzentrationen und bei Partikelgrößen über 1 µm ist die Probenahme eingeschränkt; eine Klassifizierung bei dieser Partikelgröße ist deshalb nicht sinnvoll.
Ursache sind mögliche Partikelverluste im Probenahmesystem.
- f) Um diese Partikelgröße in Verbindung mit ISO-Klasse 5 anzugeben, darf der Makropartikel-Deskriptor M angepasst und zusammen mit mindestens einer weiteren Partikelgröße verwendet werden.
Siehe C.7.
